上海光機所大口徑釹玻璃加工取得重要進展

   中科院上海光學精密機械研究所恒益公司大口徑釹玻璃加工取得重要進展，精拋光面形透射波前畸變可穩(wěn)定優(yōu)于1/3λ（λ=632.8nm），技術(shù)指標達到國內(nèi)大平面光學環(huán)拋加工最高水平，為國際同類產(chǎn)品加工先進水平，并具備小批量生產(chǎn)能力。

　　近年來，釹玻璃片精拋光過程中的面形控制工藝難度和表面疵病嚴重超標的現(xiàn)象一直制約著上海光機所恒益公司的加工產(chǎn)能。近幾個月來，上海光機所恒益公司集中組織專業(yè)技術(shù)人員，對釹玻璃光學加工中的相關(guān)工藝逐一進行分解和細化，圍繞確定性環(huán)形拋光技術(shù)和生產(chǎn)過程控制，以工藝改進和效率提升為目標，從技術(shù)路線和管理路線兩個方面進行攻關(guān)研究。

　　目前，生產(chǎn)效能和加工工藝水平都取得重要進展，集中表現(xiàn)為以下兩個方面：產(chǎn)能得到有效提升，7個月內(nèi)，月產(chǎn)能從2片/月提升到現(xiàn)在的15片/月；產(chǎn)品技術(shù)指標提升，尤其是表面質(zhì)量得到有效控制和改進，供貨合格率得到大幅提高。

　　大口徑釹玻璃是高功率激光裝置的核心元件，其最大工件尺寸接近一米，精密拋光的面形要求為透射波前畸變優(yōu)于1/3λ，相當于0.21微米的平面度要求。在大尺寸釹玻璃上實現(xiàn)如此高的平面度，溫梯度發(fā)生1℃的變化都會造成其面形畸變，技術(shù)難度高。